MEMS실험수업을 청강하며

옛날글..

MEMS (MicroElectroMechanical Systems) 은 반도체의 미세가공기술을 응용해서 마이크로 단위의 구조물을 제조하는 기술로 미소기계, 센서등의 제작기술을 총칭하는 말입니다. 최근에는 나노단위까지 영역을 확장해서 NEMS(NanoElectroMechanical Systems)라는 단어까지 등장하는 분야로 많은 기술자들이 관심을 가지고 연구를 진행하고 있습니다.

미국에서 일년간의 연수기회를 어떻게 보낼것인가 생각하다가 이전까지 접해 보지 못한 전혀 새로운것에 도전해 보고 싶다는 충동에서 기계공학에서 진동을 연구하던 저는 이곳 미시간 대학에서 멤스연구를 하기 시작했습니다. 사실 연구라고 할 것까지 없는 수준입니다. 전자공학과에서 반도체 공학이니, 전자회로, 디지탈회로, 멤스과목 등등을 학부생 또는 대학원생의 수업을 청강해 가면서 공부를 하고 있으니 말입니다.

오늘은 이 멤스 수업에 관한 이야기를 조금할까 합니다. 이곳 미시간 대학 전자과의 수업은 대부분 한 과목당 4학점으로 이론 강의와 병행해서 실험을 같이 진행하고 있습니다. 멤스과목은 특별히 클린룸에서 하는 작업들이 많은지라 실험 과목 4학점짜리가 따로 마련되어 있습니다. 강의를 담당하시는 분은 Ken Wise라는 분으로 MEMS학회(Journal of MEMS; IEEE(미국전기전자학회) & ASME(미국기계학회) 공동운영)의 수석 에디터인 분입니다. 약 40명의 학생이 4명으로 조를 짠뒤 제작하고자 하는 센서의 설계와 신호처리를 하는 반도체칩을 직접 설계 제작하는 과목으로, 지난 주부터 클린룸에서 제작을 하기 시작했습니다. 저도, 담당교수님의 허락을 받아 제작 과정에 참여하고 있습니다.

그런데, 실험 수업에서 놀란것이 있습니다. 국제학회의 수석편집인이고 이쪽 멤스 연구센터장을 역임하시고, 벤처기업까지 운영하시는 분이 학부4학년생의 실험 현장에서 일일히 모든 것을 하나 하나 가르치고 있는 것이었습니다. 물론 다른 조교도 있었지만 말입니다. 아! 저분 정말 대단한 분이시구나 하는 생각이 저절로 들었습니다. 학생들이야 일주일에 2시간 클린룸에서 작업을 하면 그만이지만, 소규모로 실험을 진행하는 과목인지라, 교수는 교대로 들어 오는 학생을 상대로 10시간 이상을 투자해야 합니다.(실험을 이틀동안 진행하니 하루에 연속 5시간정도) . 수업 또한 따로 진행해야 하고, 설계도를 일일히 챙겨주어야 합니다. 현장을 떠나지 않는 정력적인 노교수들의 모습을 보고 존경스러운 마음에서 오늘 몇자 남깁니다


출처 ; http://www.eecs.umich.edu/~wise/